We present a characterization of self-heating in a 0.25mum SiGe BiCMOS technology on bulk and SOI substrates. Measurements are compared with analytical models and simulations. Thermal coupling between emitter fingers and effect of metallization are also analyzed.

Thermal Resistance in Si(1-x) Ge(x) HBTs on Bulk and SOI Substrates

PALESTRI, Pierpaolo;
2001-01-01

Abstract

We present a characterization of self-heating in a 0.25mum SiGe BiCMOS technology on bulk and SOI substrates. Measurements are compared with analytical models and simulations. Thermal coupling between emitter fingers and effect of metallization are also analyzed.
2001
0780370198
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